Pour l’inspection et le profilage 3D de surface, rapide et de haute précision.
Utilisant l’interférométrie à lumière blanche et une nouvelle méthode de cyclage de franges avec caméra a haute vitesse (900 i/sec).

•Précision de 10 nm utilisant l’interférométrie a lumière blanche
•Mesure sur des surfaces optiquement diffues
•Temps de mesure : 0.2 sec/champ
•Échelle de mesure : 40 μm
•Logiciel de contrôle d’image en temps réel – BridgeElements